临汾轮廓仪厂家上海艾时微

企业简介

艾时微由多位半导体、科研领域资深技术人员创立，依托高校专家团队支持，秉承专业、提升、沟通理念，聚焦表面形貌及力学量测、膜厚及电性量测、缺陷及颗粒检测和成分分析四大领域。公司主营轮廓仪、台阶仪、膜厚仪、光谱椭偏仪、薄膜应力仪、四探针测试仪、液体颗粒度仪、纳米红外等设备，应用于光电、半导体、封装、研发及质量控制等场景。

产品范围

产品线覆盖轮廓仪、台阶仪、膜厚仪、光谱椭偏仪、薄膜应力仪、四探针测试仪、液体颗粒度仪、纳米红外、纳米压痕仪、白光干涉仪、显微镜等。其中轮廓仪用于薄膜厚度、表面形貌、台阶、应力及粗糙度测量；膜厚仪用于各类半导体薄膜反射率和膜厚测量；纳米红外用于纳米尺度化学成像。服务面向国内各行业客户，支持跨区域供货。

产品优势

• 宽波段覆盖

  膜厚仪波段覆盖190-1700nm，厚度范围1nm-250um；光谱椭偏仪波段覆盖193-2500nm，CCD测试仅需0.3s。

• 宽量程电阻测试

  四探针测试仪方块电阻测试范围1mOhm/sq-200MOhm/sq，跨越10个数量级，重复性小于0.2%。

• 纳米级检测能力

  液体颗粒度仪可检测小至20nm颗粒；纳米红外光谱化学成像分辨率可达5nm，较同类产品提升50%以上。

客户痛点

• 样品适配局限

  支持多种样品类型和尺寸，提供定制化夹具方案。

• 测量精度不稳

  采用高分辨率传感器和稳定算法，减少环境干扰，确保重复性。

• 操作效率低

  优化软件界面和自动测量流程，缩短单次测量时间。

合作流程

• 交付培训

  安装调试并提供操作培训。

• 需求沟通

  了解测量对象、精度要求和应用场景。

• 方案推荐

  根据需求推荐合适机型及配置。

• 样品测试

  提供样机测试或样品寄测服务。

技术背景

公司由中科院、复旦大学、厦门大学、华东理工大学等高校专家团队支持，核心团队具备半导体及科研领域资深背景。产品技术指标经过严格验证，具备相关行业资质，可满足科研与生产级测量需求。

选型建议

• 测薄膜应力

  薄膜应力仪专用于CVD/PVD镀膜的Bow和应力测量。

• 测薄膜厚度

  优先考虑膜厚仪或光谱椭偏仪，根据膜厚范围和材料类型选择波段。

• 测表面形貌

  轮廓仪或白光干涉仪适合台阶、粗糙度及三维形貌测量。

• 测颗粒污染

  液体颗粒度仪适用于光刻胶、纯水等液体中颗粒检测。

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公司：上海艾时微

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